對于半導體器材、印制電路板等外表形狀雜亂且易損壞的器材，其外表污物難于清潔的情況，介紹了一種根據SPCE061A單片機操控的超聲波清潔機。

根據超聲波清潔原理，剖析了超聲波清潔機的作業進程，對超聲波清潔機的操控電路、驅動電路、頻率主動盯梢技能、阻抗匹配及系統軟件設計辦法進行了具體介紹。該超聲波清潔機能夠完成頻率主動盯梢、功率調理及守時等功用，別的有振動、掃描兩種作業辦法可供挑選。試驗標明，該超聲波清潔機作業牢靠，清潔作用好。

超聲清潔是使用超聲波在清潔液中的空化作用、加速度作用及直進流作用，發生的沖擊，將浸沒在清潔液中的工件內外外表的污物震落剝離下來。現在常用的超聲波清潔機中，以空化作用和直進流作用為主。超聲波清潔機shou要應用于電子、光學和醫療范疇，用來清潔半導體器材、印制電路板、玻璃器具等。

超聲波清潔機由超聲波發生器、超聲波換能器、超聲清潔槽及操控電路構成。超聲波清潔機shou要使用超聲波發生器發生超聲波信號并傳入超聲波換能器，超聲波換能器將超聲波電能轉換為高頻機械振動并傳入清潔液中，在清潔液中發生空化作用，然后到達超聲波清潔的目的[4-5]。

超聲波清潔機操控的關鍵是頻率盯梢，也即是使超聲波電源輸出頻率和換能器頻率共同，這么才干構成共振，使換能器處于**好作業狀況，清潔作用**好。現在，常用的頻率盯梢技能采用鎖相環辦法，該辦法簡略易完成，盯梢作用好，但功用單一。

這篇文章采用單片機完成全數字操控，以便于設置有關參數。該機的shou要功用有頻率主動盯梢、功率調理、振動作業辦法、掃描作業辦法、守時功用。